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总体规格特点:

• 沉量:  60kg 

• 尺寸:  580mm宽x520mm深x700mm高 

• 优化的人体工学设计
  ，便于工程师长功夫舒服的操作。 

针座台面规格:

• U型固定台面
  ，抛光不锈钢+防腐氧化材质
  ，平坦度：±3μm 

载台规格：

• 6英寸真空吸附样品台
  ，提供气源
  ，平坦度：±3μm
  ，选取真空吸附方式吸附样品
  ，幼真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm
  ，真空吸附尺寸150mmx150mm

• 样品台X-Y移动平台
  ，行程150mmx150mm
  ，微调精度为1μm
  ，无回差线性调节

• 样品台Y方向急剧推动抽出
  ，行程2英寸
  ，方便快递取放样品  

• 样品台Z方向微调起落10mm
  ，微调精度为1μm

• 样品台水平θ角度调节领域0°～360°
  ，并微调±10°
  ，微调精度0.01°

• 样品台电学独立悬空
  ，可接地或加载背栅电压。 

显微镜操控规格:

• 显微镜后侧有X-Y轴调节幼摇轮
  ，可调节显微镜在X-Y方向的移动
  ，移动领域50mmX50mm
  ，精度1μm

• 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮
  ，粗旋钮方便急剧调焦,细旋钮方便调焦
  ，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm
  ，移动精度1μm

• 显微镜急剧倾仰±30°职能
  ，方便急剧切换镜头
  ，预防镜头切换时撞针。

利用场景：

• 直流IV/CV测试  

• Pulse IV测试

• 阻抗测试

• 时域分析测试

• 有源射频测试

• 无源射频/微波测试