总体规格特点:
沉量: 80kg @6inch台体，100kg @8inch台体，120kg @12inch台体
尺寸: 580mm宽x520mm深x700mm高 @6inch台体，
760mm宽x670mm深x750mm高 @8inch台体，
930mm宽x900mm深x800mm高 @12inch台体优化的人体工学设计，便于工程师长功夫舒服的操作。
针座台面规格:
U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平坦度：±3μm
平台台面急剧线性起落，起落行程有0mm/0.3mm/3mm三档扣调节，在探针点测时能够急剧抬针，方便对待测点的沉选择
平台台面微调线性起落，微调起落行程20mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测时方便对待测点的复位，或者点测一样分列的待测点时，实现多根探针或光纤的高效沉复丈量。
载台规格：（即chuck）
6英寸/8英寸/12英寸载台，平坦度：±3μm，选取真空吸附方式吸附样品，幼吸附尺寸为0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸
载台X-Y移动平台，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保障待测样品的每一点都可能点测到，同时建设微调旋钮，微调精度为1μm，无回差线性调节
载台X-Y移动平台可升级气浮急剧移动，移动领域不幼于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便急剧定位测试点
载台Y方向急剧抽进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品
载台水平θ角度调节领域0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°
载台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。
显微镜操控规格:
显微镜后侧有X-Y轴调节幼摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动领域50mmX50mm，精度1μm
显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便急剧调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm
显微镜急剧倾仰±30°职能，方便急剧切换多组长焦物镜，预防镜头切换时撞针
显微镜可升级Z轴方向气动急剧起落职能，方便切换多组长焦物镜和急剧沉复聚焦。
