总体规格特点:
沉量：30kg
尺寸：450mm宽x400mm深x600mm高
优化的人体工学设计，便于工程师长功夫舒服的操作 。
载台（chuck）规格：
4英寸/6英寸载台，直径101.6mm/152.4mm，平坦度：±3μm
载台选取真空吸附方式吸附样品，幼吸附样品尺寸为5mmx5mm
载台X-Y轴微调行程101.6mmX101.6mm，微调分辨率1μm
载台Z轴方向微调起落10mm，微调分辨率1μm
载台水平角度调节领域0°～360°，旋转精度0.01°
载台电学独立悬空，可作背电极使用 。
针座台面规格:
U型抛光不锈钢台面
针座台面平坦度：±3μm
可包容针座数量：4~6个 。
显微镜把持规格:
配有摆臂调节机构，可调节显微镜在X-Y肆意方向的急剧移动
显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm 。
利用场景：
直流IV/CV测试
Pulse IV测试
阻抗测试
时域分析测试
有源射频测试
无源射频/微波测试 。
