探针台
1.1. 8英寸-80℃ to +200℃凹凸温密关腔体
1.2.卡盘X/Y轴平面无间隙气浮急剧移动，移动速度可调，单手节造，急剧移动行程：8英寸X8英寸，肆意地位自动锁止，同时X/Y轴平面无间隙微调移动行程：8英寸X8英寸，精度：1um
1.3.卡盘Z轴无间隙起落移动，行程：0~10mm，微调精度：1um
1.4.探针平台急剧起落行程 0/0.3/3.0mm并带自动锁定职能
1.5.显微镜底座在 X-Y轴平面内微调移动，行程：2英寸X2英寸，精度1微米
1.6.显微镜Z轴气浮急剧起落，行程0~50mm，起落速度可调
1.7.高分辨显微观察系统，光学分辨率0.5um，共同2000万像素高清工业相机和液晶显示器，带拍照、录像和尺寸丈量软件
1.8.直流、脉冲、高压、大电流、高频探针均可配置。
凹凸温卡盘
2.1. 8英寸凹凸温卡盘，同轴结构，背栅电极测试，可兼容Banana、BNC、TRIAX、SMA、HV TRIAX等测试接口
2.2. 温度领域：-80℃ to +200℃
2.3. 温度分辨率 ： 0.1℃
2.4. 温度不变性： ±0.1℃
2.5. 控温方式 ： 全自动控温软件，一键节造温控器、传感器和液氮流量
IV仪表
3.1. 提供宽动态领域：200mV~200V, 1μA~1A, 20W
3.2. 最幼电流分辨率：0.1fA
3.3. 最幼电压分辨率：1uV
3.4. 四象限工作
3.5. 数字I/O提供急剧分选与机械手衔接GPIB,RS-232
CV仪表
4.1. 丈量频率DC，4Hz~8MHz(10 mHz~100 Hz步进)
4.2. 丈量模式：单次/陆续丈量
4.3. 根基精度Z: 0.05 % rdg. θ: 0.03°
4.4 最幼电容分辨率：0.1fF
4.5. DC偏压-200V~+200V
测试软件
5.1. 人机交互界面多职能软件；
5.2. 具备数据图形化分析职能，具备输出通路、测试通路、输出类型、扫描模式、电压/电流参数、扫描步长、输出延长、循环次数、接线方式设置职能；
5.3. 可实时测得IV曲线、VI曲线、IT曲线、VT曲线、RT曲线、PT曲线、RV曲线、FET个性曲线、BJT个性曲线、C-F、C-V、C-T实时曲线；
5.4．滤波设置，对丈量值取均匀；
5.5. 手动设置输出和丈量的量程领域，也可设置自动量程；
5.6. 设置丈量积分功夫，节造丈量速度和精确度，积分功夫可设置为0.001s～25s；
5.7. 通讯接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；