探针台选型指南

1.探针台体尺寸：

• 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
  ；
• 决定了载物台放样品的尺寸、载物台的X-Y行程。

2.显微观察倍率：

• 体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（共同CCD相机+显示器），光学幼分辨率约5微米）
  ；
• 金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （共同CCD相机+显示器），光学幼分辨率约0.5微米）。

3.探针座和夹具：

• 器件是几端口：二极管为2端，三极管为3端
  ；
• 丈量何种参数：电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强
  ；
• 配套仪表：数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号产生器、示波器、锁相放大器等。

4.屏蔽和隔振：

• 防静电、遮光线、尝试室环境电磁滋扰、楼层振动、操作振动。

光电集成规划

1.光源种类：

• 光源+单色仪：波长可调节，能量较幼。
• 激光光源：单波长、能量较大。

2.光电结合方式：

• 将表加光源引入探针台显微镜接口，让表加光从显微镜物镜头出射到样品
  利益：利用探针台显微镜观察定位 表加光源的光斑，垂直90°出射，移动定位便捷
  ；
  弊端：表加光 经过显微镜内部后，衰减较大。
• 利用探针座特造夹具，夹持光纤，拔取出射角度
  利益：光衰减幼，照射角度矫捷定造
  ；
  弊端：分歧波长或类型的光纤，必要定造多种分歧光纤夹具。