iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度丈量设备，设备选取光谱共焦非接触式无损丈量技术，具备高精度对准、高精度丈量沉复性的优势 。同时输出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等丈量参数 。合用于多种规格芯片和晶圆的平面度丈量 。
