系统结构与配置：
样品台：2英寸圆形或方形 ，表表镀金 ，支持电悬空或背棚电极 ，漏电精度 ≤100fA
屏蔽层：6英寸样品台屏蔽层
观察视窗：高透光 ，直径60mm
波纹臂接口：6个测试接口
隔振系统：隔振效能 ≥98%
探针热锚：样品台与屏蔽 ；げ阋惶寤杓
温控机能：
温控领域：80K ~ 400K/600K/800K/1000K（可。
温控分辨率：10mK
温控不变度：±100mK
温控回路：双路温控
节造软件：全自动节造 ，支持单点、单段、多段、自界说法式控温 ，兼容多种测试仪器软件
测试与定位精度：
显微精度：3.5微米
探针臂位移：XYZ三维行程 75mm×50mm×25mm ，位移精度1微米
探针针尖可。1.5/5.0/10.0/20.0微米
电学与光学丈量精度：
电流丈量精度：
直流探针：≤100fA
开尔文探针：≤10fA
电容丈量精度：
直流探针：≤10fF
开尔文探针：≤10fF
电脉冲丈量精度：≤10nS
光脉冲丈量领域：200nm ~ 2000nm
