微定位底座
精密正确的探针座微定位职能
1. 精密螺纹加工技术,螺纹牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI,对应的定位精度别离为1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米;螺纹牙距指的是相邻两牙在中径线上对应两点间的轴向距离。用TPI=Thread Per Inch即每英寸(25.4mm)有几多个螺牙来暗示。
例如:100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm;2. 线性V型轨路设计,重新到尾、由正向反顺畅一致的行程,无蛇形、无回差正确地“定点降落”到测试点;
3. 精密装配技术,数月、数年的反复使用,无崩牙,极低故障率。
HMP-200规格:
沉量 1200克
精度 0.35μm
牙距 200螺纹/英寸
X-Y-Z线性移动领域 12mmX12mmX12mm
特点:无回差线性移动,靠得住性极度好
吸附类型:磁性可开关型吸附底座
三同轴(Triaxial)探针夹具
合用于丈量幽微电流<100fA
HMP-100规格:
沉量 1000克
精度 0.7μm
牙距 200螺纹/英寸
X-Y-Z线性移动领域 12mmX12mmX12mm
特点:无回差线性移动,靠得住性好
吸附类型:磁性可开关型吸附底座
三同轴(Triaxial)探针夹具
合用于丈量幽微电流<100fA
HMP-80 规格:
沉量 500克
精度 1μm
牙距 80螺纹/英寸
X-Y-Z线性移动领域 12mmX12mmX12mm
特点:无回差线性移动,靠得住性好
吸附类型:磁性可开关型吸附底座
三同轴(Triaxial)探针夹具,弱电流丈量精度<100fA
同轴(Coaxial)探针夹具,弱电流丈量精度<10pA。



